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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 检测薄膜中的微量元素除了用XPS，还能用什么检测手段？
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金萱焕彩

木虫 (正式写手)

[求助] 检测薄膜中的微量元素除了用XPS，还能用什么检测手段？

检测薄膜中的微量元素除了用XPS，还能用什么检测手段？
如题~~
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Followingmyfeeling.
1楼2012-07-06 16:40:51
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wu1008

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-07-07 10:19:24
金萱焕彩: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-07-10 08:40:16
卢瑟福背散射，中子衍射。。。。很多啊
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4楼2012-07-06 21:01:19
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
金萱焕彩: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-07-10 08:40:23
扫描电镜或者透射电镜的能谱。
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麦麦爸爸爱小牛
2楼2012-07-06 18:21:59
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金萱焕彩

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xiejf at 2012-07-06 18:21:59
扫描电镜或者透射电镜的能谱。

轻元素，微量，EDS能测出来吗？
由于是薄膜，如果做TEM的话基底的影响可能会比较大吧？而且基底也有同种元素，仍然可以用TEM的能谱测吗？
谢谢~
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Followingmyfeeling.
3楼2012-07-06 19:01:27
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金萱焕彩

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by wu1008 at 2012-07-06 21:01:19
卢瑟福背散射，中子衍射。。。。很多啊

不好意思啊，就是因为不知道才发问的~
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Followingmyfeeling.
5楼2012-07-06 21:03:10
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