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通过怎样参杂使得二氧化硅薄膜的折射率在1.440--1.445之间
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1970-01-01 08:00:00
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你上cnki搜搜,看到有些人做这个~~对此我完全是外行,爱莫能助了,祝楼主早日成功!
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liyongyanyu
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6楼
2012-07-06 18:29:50
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yankeevt
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2楼
2012-07-06 10:30:25
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很有帮助
2012-07-06 14:40:10
tt.yao: MN-EPI+1
2012-07-13 08:14:40
不掺的话应该是1.46吧,介电常数=折射率的平方,降低折射率的话应该降低介电常数,总之是让SiO2变得不绝缘一些,应该p型或n型掺杂都可以
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3楼
2012-07-06 10:50:38
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3楼
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Originally posted by
semi-white
at 2012-07-06 10:50:38
不掺的话应该是1.46吧,介电常数=折射率的平方,降低折射率的话应该降低介电常数,总之是让SiO2变得不绝缘一些,应该p型或n型掺杂都可以
哥们好豪爽,谢谢~~不过关于降低介电常数,掺杂或许不是上佳之选,有人用阵列空隙结构的SiO2(空气介电常数为1)可以获得低介电常数的氧化硅膜
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4楼
2012-07-06 16:38:54
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