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[资源] 【项目申请书】国家973:光子束超衍射纳米加工技术与应用基础研究

国家973:光子束超衍射纳米加工技术与应用基础研究

项目名称:        光子束超衍射纳米加工技术与应用基础研究
首席科学家:        段宣明 中国科学院理化技术研究所
起止年限:        2010年1月-2014年8月
依托部门:        中国科学院

本项目设置以下4个研究课题:
课题一:光子束超衍射纳米加工基本原理基础研究
课题二:无掩模纳米光刻机理、关键技术、工艺创新与应用基础研究
课题三:多光子纳米加工机理、关键技术、工艺创新与应用基础研究
课题四:纳米器件制备工艺创新与应用基础研究

[ Last edited by zhaoyuan0426 on 2012-6-20 at 16:50 ]
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abcd_1234

金虫 (初入文坛)


★★★★★ 五星级,优秀推荐

好啊
感觉分辨率、精度没有分清楚哦;精度比分辨率也小,比如说,最小刻度为1mm的尺子,读长度时的精度为1mm;但分辨率可以为1mm的三分之一,即为0.3mm左右
5楼2012-06-17 21:27:10
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spurs

银虫 (小有名气)


★★★ 三星级,支持鼓励

973现在越高越大,大牛的团队搞了一个有一个,平民团队只能跟着喝点汤,有时候骨头都肯不到。
6楼2012-06-17 21:32:12
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yaoxf

金虫 (正式写手)


★★★★★ 五星级,优秀推荐

学习了,可望而不可及啊!!!
21楼2012-06-18 13:03:43
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goddog

铁杆木虫 (职业作家)


★★★★★ 五星级,优秀推荐

精细啊,能做成吗?

做成后,新一代光刻机(技术)我们就牛了
44楼2012-06-19 09:12:45
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引用回帖:
44楼: Originally posted by goddog at 2012-06-19 09:12:45
精细啊,能做成吗?

做成后,新一代光刻机(技术)我们就牛了

可以啊,这项技术都已经发展十来年了,我们实验室现在用波长780nm的飞秒激光可以加工出50nm分辨率
http://g.zhubajie.com/urllink.php?id=12464664wxzqiq1dnfjrzagm
48楼2012-06-19 11:34:54
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goldboy

木虫 (著名写手)


★★★★★ 五星级,优秀推荐

难得看到光学的
11楼2012-06-18 08:12:45
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2012-06-17 18:51   回复  
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blueesky3楼
2012-06-17 20:57   回复  
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zhangxz034楼
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eroszhyx8楼
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deanfeng10楼
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m062612楼
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sunzero13楼
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handingan14楼
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jll2415楼
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jwb81122516楼
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sihui88824楼
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