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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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shaoweina

金虫 (初入文坛)

[求助] 关于硅片表面疏水性处理的问题,20金币,谢谢指点 已有1人参与

从spi购买的silicon wafer希望通过处理能够实现疏水性表面。查文献知道一般是通过两步实现,首先通过浓硫酸+双氧水处理,除掉表面氧化层,并且引入羟基,第二步通过硅烷偶联试剂(含烷基链)浸泡较短时间即可得到疏水性表面。比如二氯硅烷。

我已经能够通过第一步实现亲水性硅表面,接触角10左右。第二步能否给一个比较详细的步骤介绍,越详细越好,非常感谢。如果有用会另有金币赠送,借来的账号,送50金币吧。因为文献中说的比较简单,但是有人说需要注意防水,反应时间影响也很大。
问题
1 最常用的硅烷偶联试剂有哪些,需要接触角80左右,并且容易操作,最好有
2 一般文献中讲需要将硅片在硅烷偶联试剂中浸泡,需要浸泡多少时间,浓度是多少?常用的溶剂是什么?

非常感谢!
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babytc

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

第一步一般是浓酸反应2h后,洗干净呈现亲水,你想要书接触角80作用,那么用3-氯丙基三甲氧基硅烷0.2ml,10ml无水甲苯,氮气下80°油浴24h,然后洗片。
     希望对你有帮助!!!!!
5楼2014-05-08 10:52:35
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zihua886

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
其他的硅烷试剂我不太清楚,我就知道类似APTMS的,也就是氨基后者巯基甲氧基硅烷系列。一般都用的是醇做溶剂吧,在常温下缓慢搅拌10小时以上就能很好的键合;也可以先常温搅拌1小时左右,再升温至60度以上 保持半小时以促进共价键结合。文献报道这样可以在表面覆盖4-6层单分子层,然后离心4次以上除去多余的偶联剂。也有用甲苯作溶剂的,具体条件和温度我记不清楚了  不好意思。
工作原因,暂离数月。
2楼2012-06-14 17:41:22
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wwwhww

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
没什么难度,一艘中文一大片
3楼2012-06-15 08:57:35
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zjhg

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
疏水性的一般用长链烷基硅烷,或者长链氟硅烷介绍的比较多,大部分都是用异丙醇作溶剂,浓度百分之几到千分之几都有,浸泡时间也就几分钟,然后100多度烘个把小时
4楼2012-06-15 12:43:39
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