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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 分子泵电源上显示欠压，是什么意思？
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halcyon1988

金虫 (小有名气)

[交流] 分子泵电源上显示欠压，是什么意思？

今天实验室的磁控溅射仪的分子泵出现了问题，刚开始还是好的。后来师妹过来说出现问题了。主要是分子泵电源的那个屏幕上显示欠压，而且分子泵也已经停止工作了。请问有人遇到过这种问题吗？欠压是什么意思？电压的问题？
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1楼 2012-06-12 17:32:44
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13164186831

新虫 (初入文坛)
★
halcyon1988(金币+1): 谢谢参与
请问你们后来是怎么解决的
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3楼2017-10-26 20:50:33
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小?�

新虫 (初入文坛)
★
halcyon1988(金币+1): 谢谢参与
若显示的是控制器欠压保护（UL），原因可能是：1、输入电源电压偏低 （检查一下电源是否正常 ） 2、输入电源掉电瞬间 。检查后，再试一试，看能不能正常工作。如果还不行的话，最好请教一下仪器的工程师。
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2楼2017-06-06 18:09:41
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13164186831

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by nono2009 at 2017-10-26 21:10:48

我昨天使用电弧熔炼炉的时候，当我结束熔炼以后就关水了，结果，过了一会，当我关闭分子泵的时候，报警了，于是乎我赶紧把水打开，然后就关机了。今天晚上再次使用的时候，当我用机械泵抽真空到5MPA后，再开分子泵，控制器显示欠压，我不知道怎么处理了。真的很着急。不知道自己是不是犯了大错误。希望楼主能够告诉我你当时的处理方法。万分感激。
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5楼2017-10-26 22:24:54
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