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木虫 (小有名气)

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9楼: Originally posted by fznm1234 at 2012-05-31 08:37:10
有两种渡电极方法,一种是叉指电极,这种是共面的,只一面就可以,另一种是平行板电极,先在片子上做电极,其上面是膜,膜上再做圆点电极,由于测的是电容,通过圆点面积及膜厚可求介电常数...

我最近也在搞电容测量,对于平行板电极(就是膜上表面是栅极,衬底背面是底电极)这种情况,电极是不是得需要欧姆接触呢?具体的该怎么测量呢?比如,该加多大的偏压范围,以及AC信号振幅和频率呢?
爱我所爱
11楼2012-06-01 09:10:04
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木虫 (小有名气)

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10楼: Originally posted by chenxiyulu at 2012-05-31 09:31:48
很遗憾,我只能表示看不明白,不过很感谢,最少知道我紧紧在上面蒸镀一层金属膜是不行的。...

我也在做C-V测量,可以交流一下,我们用的是安捷伦B1500A,虽然仪器不同,但是,基本原理是一样的。可以PM我
爱我所爱
12楼2012-06-01 09:11:44
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