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liweiwuyi

铁虫 (小有名气)

[交流] 晶片表面的划痕怎么处理? 已有3人参与

晶片在研磨阶段,采用较小的磨料,表面会产生比较多且深的机械划痕,请各位大侠给帮忙分析分析,怎样才能避免机械划痕的产生,多谢!
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liweiwuyi

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 0511112040 at 2012-05-16 16:49:21:
使用更细的磨粒研磨,然后用绒布等抛光

谢谢回帖,研磨的时候采用金刚石W3.5,研磨盘采用的是铸铁盘,产生比较深的划痕,能否有比较好的工艺,避免类似划痕的产生?
5楼2012-05-16 22:01:08
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0511112040

木虫 (著名写手)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
gordon2008: 金币+1, 欢迎交流 2012-05-17 11:21:12
引用回帖:
5楼: Originally posted by liweiwuyi at 2012-05-16 22:01:08:
谢谢回帖,研磨的时候采用金刚石W3.5,研磨盘采用的是铸铁盘,产生比较深的划痕,能否有比较好的工艺,避免类似划痕的产生?

我用过W0.5的金刚石,是用的是铝盘,自己还有做软抛光膜去抛光加工的。
走自己的路,做最好的自己
6楼2012-05-17 09:17:30
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liweiwuyi

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by gordon2008 at 2012-05-17 11:21:41:
你把你所采用的工艺步骤简要说一下,给你找找问题

工艺参数:加载重量:3KG;研磨盘转速40~80rpm;铸铁盘;金刚石W1.5、W3.5
加工步骤:1、配研磨液+超声波振荡
          2、贴片
          3、行星轮式研抛机研磨+研磨液循环供给
9楼2012-05-17 23:12:07
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普通回帖

xxjgs

金虫 (小有名气)


gordon2008: 金币+1, 欢迎交流 2012-05-17 11:20:45
研磨后用抛光
2楼2012-05-16 08:31:22
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0511112040

木虫 (著名写手)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
gordon2008: 金币+1, 欢迎交流 2012-05-17 11:20:54
使用更细的磨粒研磨,然后用绒布等抛光
走自己的路,做最好的自己
3楼2012-05-16 16:49:21
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liweiwuyi

铁虫 (小有名气)


gordon2008: 金币+1, 欢迎交流 2012-05-17 11:21:04
引用回帖:
2楼: Originally posted by xxjgs at 2012-05-16 08:31:22:
研磨后用抛光

谢谢回帖,研磨的时候采用金刚石W3.5,产生比较深的划痕,能否有比较好的工艺,避免类似划痕的产生?
4楼2012-05-16 22:00:33
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gordon2008

荣誉版主 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你把你所采用的工艺步骤简要说一下,给你找找问题
改变你所能改变的一切,适应你所不能适应的一切
7楼2012-05-17 11:21:41
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liweiwuyi

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 0511112040 at 2012-05-17 09:17:30:
我用过W0.5的金刚石,是用的是铝盘,自己还有做软抛光膜去抛光加工的。

您采用的铝盘,有没有打过硬度??采用铝盘、W0.5的金刚石没有产生划痕吗?我之前也做过铝盘的,说是超硬铝的,不知道这个硬度是不是有很大关系,谢谢
8楼2012-05-17 23:05:51
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gordon2008

荣誉版主 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
9楼: Originally posted by liweiwuyi at 2012-05-17 23:12:07:
工艺参数:加载重量:3KG;研磨盘转速40~80rpm;铸铁盘;金刚石W1.5、W3.5
加工步骤:1、配研磨液+超声波振荡
          2、贴片
          3、行星轮式研抛机研磨+研磨液循环供给

1、磨粒未实现无序化加工,若长期加工如此的话,问题应该出在研抛机的运动轨迹设计不合理
2、个人感觉跟磨粒关系不大,研磨液的供给方式是不是可以变换下,研磨液的配比是不是合理,研磨液的成分对该类晶片的加工是否合适
3、表面有没有橘皮现象,速度的控制是不是可以尝试变换下范围,比较下效果,抛光布是否合理,能否更换比较下
改变你所能改变的一切,适应你所不能适应的一切
10楼2012-05-18 09:53:47
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