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hongliushu03铁杆木虫 (著名写手)
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分享一篇综述:MEMS用含能薄膜研究现状及进展已有10人参与
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:在综合分析国内外含能薄膜相关文献的基础上,认为金属复合含能薄膜桥、含能半导体桥及纳米多孔硅/氧化剂复合薄膜制作工艺与微机电系统(器件制备技术具有良好的兼容性,在此基础上阐述了上述三种 薄膜材料的制备方法及输出特性,认为MEMS火工装置为火工技术的发展提供了一个重要的研究方向随着微纳米材料技术的发展,新型微纳米尺度的含能材料也随之快速发展,特别是能够实现MEMS集成的微纳米含能器件也方兴未艾。这里提供一篇很有意思的综述。[ Last edited by hongliushu03 on 2012-5-17 at 18:40 ] |
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2012-05-07 15:08:41, 1.09 M
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hongliushu03
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