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大水杯

木虫 (著名写手)

[交流] 晶体薄膜内应力测试

请问各位虫友，利用磁控溅射在Si衬底生长薄膜材料的内应力都怎么测？是否有现成的仪器？
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1楼 2012-05-07 09:03:12
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智能机器人

Robot (super robot)

我们都爱小木虫

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