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【答案】应助回帖

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wuying10: 金币+2 2012-05-07 15:41:40

XPS只能测样本表面7-10nm的厚度，而且一般来说XPS的AT%误差在4%以上。样品表面的污染可以用insitu argon ion beam 去除，但是sputtering时间不宜太长，不然会影响样本，sputering速度不同厂家不一样。

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11楼2012-04-29 13:32:55

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匿名

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wuying10: 金币+2 2012-05-07 15:41:43

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12楼2012-04-30 17:41:30

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