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苍冥之鹰

金虫 (著名写手)

[求助] 请问各位,如何使聚苯乙烯在晶片上成膜?

本人想将聚苯乙烯涂在石英晶片上,我是先用THF溶解聚苯乙烯再滴在晶片上,再等THF挥发,可是成膜效果不是很好,有人知道是哪里有问题吗?有没有更好的办法使聚苯乙烯涂于晶片(形成的聚苯乙烯膜要很薄)?
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vmuch520

至尊木虫 (文坛精英)

引用回帖:
38楼: Originally posted by 苍冥之鹰 at 2013-03-12 11:21:37
谢谢你。之前也用甲苯做过,成膜效果还行,只可惜后面的吸附效果不是很好。...

有干燥吧?PS是非晶的,可以退火消除内应力同时除掉溶剂
Therecanbemiracles,whenyoubelieve.
39楼2013-03-12 11:23:15
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查看全部 48 个回答

qsywp

专家顾问 (著名写手)


wgs8136: 金币+1 2012-04-24 20:07:03
多试几种溶剂,PS的溶剂比较多。估计挥发速度有点影响。
2楼2012-04-23 20:28:28
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yanghuawei

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
wgs8136: 金币+1, 欢迎交流 2012-04-24 20:07:16
配成稀溶液旋涂,至于厚度的控制,您可以参考一些做图案化或者去润湿的文献。
3楼2012-04-23 20:40:35
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vmuch520

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
苍冥之鹰: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2012-04-24 19:34:57
wgs8136: 金币+3, 感谢应助! 2012-04-24 20:07:31
成膜效果不是很好是怎么个不好法?
可以使用spin-coating的办法。
有几点需要注意:
1、浓度(5wt%以内)和转速合适(1500-3000rpm);厚度主要取决于浓度,转速影响较小;
2、选合适的溶剂,厚度还取决于溶剂沸点,而且沸点越低溶剂越易挥发甩的膜就越粗糙。
3、不管你直接滴或者用spin-coating办法做膜,石英片最好处理处理干净。

楼主为什么不用甲苯作溶剂呢?

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Therecanbemiracles,whenyoubelieve.
4楼2012-04-23 20:53:16
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