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Nano-mse

金虫 (小有名气)

[求助] CVD合成纳米线,控制压强的针阀到底是什么样子的?已有1人参与

大家好,请问哪位知道CVD管式炉系统中,可以粗略控制压强的那种针阀到底是什么样子的呢?能给推荐一个吗?可以实现从低压到常压的那种。

我们实验室的CVD系统是这样接的:流量计-管式炉-压力表-一个貌似是开关的东西(如图)-真空泵。我们这种接法是准确的吗?但是那个貌似是开关的东西根本控制不了压力,一旦打开哪怕一点点,通入气体后,过一段时间压力表的显示就不变了(数值很低),无法调到常压(除非完全关闭,那样的话管中的气体流不出去,过一阵就把封管的套子顶开了,很危险的)。另外,一旦使用高一点的蒸发温度,一些材料的蒸发量很大的话,经常会把这个开关阻塞的(这个开关通道很小),导致管口的套子被冲开。

请大家指点一下,多谢各位了!



[ Last edited by Nano-mse on 2012-3-6 at 21:07 ]
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hrandy

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

第一,这个控制要选取针阀,你搜索针阀就能找到。低压要求针阀的孔大些,如果要高压要求针阀的孔小些。如果想控制精度和稳定性,低压和常压需要两个不同的阀。
第二,管子和阀之间需要缓冲。你可以在两者之间加段管子,这样蒸发物就可以大部分留在这段管子里。
第三,有单向阀,接在泵和CVD之间,可以在高于某个气压时自动启动单向阀,不会冲开管接头。
这些零件,比较专业的是swagelok,各种范围的都有。
7楼2012-07-15 22:15:05
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