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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 如何制备铁电薄膜电极？
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nlw175

金虫 (正式写手)

[求助] 如何制备铁电薄膜电极？

用PLD制备铁电薄膜，然后打算用铁电分析仪测试介电性能，请问如何制备电极？电极大小应该如何把握？
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1楼 2012-03-05 21:17:28
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chinaworm

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
tt.yao: 专家考核, 鼓励全面详细说明。 2012-03-20 12:30:52
zhangquan8385: 金币+1, 鼓励 2012-04-03 10:03:09
蒸发镀膜
磁控溅射
PLD
很多方法
不知道你们有哪种
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Tomorrow is tomorrow
4楼2012-03-16 13:16:53
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pcsmine

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
abooo(金币+1): 鼓励！ 2012-03-07 10:54:18
nlw175(金币+4): ★有帮助 多谢，系统的智能机器人很强大，我找了之前的一个帖子，还是感谢你！ 2012-03-07 11:17:32
磁控溅射 ，Pt，掩膜板。
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2楼2012-03-07 10:44:15
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zmm870305

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般用磁控镀Pt或Au，蒸镀时在薄膜表面用孔径为0.5mm掩膜板遮挡，估计5分钟左右吧
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5楼2012-03-19 21:42:07
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yangdongyan

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by zmm870305 at 2012-03-19 21:42:07
一般用磁控镀Pt或Au，蒸镀时在薄膜表面用孔径为0.5mm掩膜板遮挡，估计5分钟左右吧

请问，您说的是平行电容器嘛
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6楼2014-06-18 22:17:12
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