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snowmami

新虫 (正式写手)

[求助] 请懂激光器的朋友帮下忙:激光能量密度是怎么算出来的? 已有1人参与

文献上提到用PLD镀膜时提到:A laser beam of energy density 2.8 J /cm2 with 10 Hz repeat rate was used to ablate from the sintered Ni target. The oxygen process pressure, target-to-substrate distance, and number of laser shots were maintained to be 0.5 mbar, 2.5 cm, and 60 000, respectively, during deposition.
请问:1、2.8 J /cm2 的能量密度在实验中如何计算?
      2、number of laser shots 60000 是什么意思?
    我现在想重复该实验,本实验室的激光器是248 nm的KrF激光器,脉冲宽度是25 ns(好像不能调),单脉冲能量700 mJ以下都行,频率1~10Hz,现在不知道如何设置单脉冲能量才能达到上述参数?请各位朋友帮助。
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snowmami

新虫 (正式写手)

引用回帖:
: Originally posted by tianzi4373 at 2012-02-05 21:25:06:
能量密度=(单脉冲能量*所用频率 )/ 光斑面积算
通常也用单位时间内的总能量除以光斑面积

谢谢您的帮助。不过如果您有时间我想简单和您在这讨论下:
按照您的公式要达到2.8J/cm2的能量密度,频率为10 Hz,假设光斑面积为0.02 cm2的话,那么就要设单脉冲能量为5.6 mJ。但是这样的能量在实验中是过低的,激光器一般不能实现能量过低的设置。我们通常用的能量是100~500 mJ。
另外:number of laser shots 60000 是什么意思?
请多多指教!
3楼2012-02-06 08:57:32
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snowmami

新虫 (正式写手)

snowmami: 回帖置顶 2012-02-07 12:28:20
引用回帖:
: Originally posted by tianzi4373 at 2012-02-06 11:28:55:
能量密度=(单脉冲能量*所用频率 )/ 光斑面积/脉宽,

激光发射数

谢谢您的回复!
还有点细节想问清楚:
1.脉宽是不是用ns直接做单位就可以了?如果用秒作单位的话,太大了!
2.number of laser shots 60000 能否理解为整个沉积过程激光发射的总数?也就是说该值除以频率就是沉积时间了?
6楼2012-02-07 12:24:14
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snowmami

新虫 (正式写手)

引用回帖:
: Originally posted by wcghha at 2012-02-06 17:15:55:
J /cm2 的能量密度应该是
单脉冲能量/光斑面积即可,
你用的激光器貌似能量密度远大于这个值~
尽然能量没办法控制,能不能想办法扩大光斑面积?

谢谢您的帮助,但是我觉得在PLD方法中增大面积不太可行
7楼2012-02-07 12:25:55
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snowmami

新虫 (正式写手)

引用回帖:
: Originally posted by tianzi4373 at 2012-02-06 11:28:55:
能量密度=(单脉冲能量*所用频率 )/ 光斑面积/脉宽,

激光发射数

还有这个公式出处能否告知下?谢谢啦
8楼2012-02-07 12:33:09
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snowmami

新虫 (正式写手)

引用回帖:
15楼: Originally posted by ascusht at 2015-11-18 12:25:49
请问光斑大小是指激光在交点处的面积吗?如果有一定的离焦量,是不是光斑面积就变化了?

那是肯定的

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16楼2015-11-19 08:19:24
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snowmami

新虫 (正式写手)

引用回帖:
14楼: Originally posted by leileiloy at 2015-03-18 09:11:55
我想问问,光斑面积怎么得出来的

光斑形状往往不规则,一般我们都是估计得到的,不知道还有没有其他好办法

发自小木虫IOS客户端
17楼2015-11-19 08:20:34
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snowmami

新虫 (正式写手)

看靶上的印子,大概估算的

发自小木虫IOS客户端
19楼2016-11-10 22:41:18
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