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1楼 2012-02-02 22:42:52

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suchanghong

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光刻是可以的，还有在粗糙模板上固化在脱模。

2楼2012-02-04 13:16:02

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楼: Originally posted by suchanghong at 2012-02-04 13:16:02:
光刻是可以的，还有在粗糙模板上固化在脱模。

我觉得您说的第二个方法比较好，但我不知道粗糙度怎么度量？

3楼2012-02-04 16:35:02

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suchanghong

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3楼: Originally posted by 量子学徒 at 2012-02-04 16:35:02:
我觉得您说的第二个方法比较好，但我不知道粗糙度怎么度量？

轮廓线仪可以用来表征粗糙度：扫描粗糙表面，得到轮廓线，分析轮廓线得到粗糙度。貌似有好几个参数描述粗糙度：Ra，Rz；Ry。

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4楼2012-02-04 18:47:24

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楼: Originally posted by suchanghong at 2012-02-04 18:47:24:
轮廓线仪可以用来表征粗糙度：扫描粗糙表面，得到轮廓线，分析轮廓线得到粗糙度。貌似有好几个参数描述粗糙度：Ra，Rz；Ry。

真的很感谢你的帮助，不知道我们实验室有没有这个仪器。
前辈，我还想问您，粗糙模板的粗糙度怎么控制呢？我想用腐蚀或喷砂的方法做一个粗糙的硅模板。

5楼2012-02-05 18:34:27

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suchanghong

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5楼: Originally posted by 量子学徒 at 2012-02-05 18:34:27:
真的很感谢你的帮助，不知道我们实验室有没有这个仪器。
前辈，我还想问您，粗糙模板的粗糙度怎么控制呢？我想用腐蚀或喷砂的方法做一个粗糙的硅模板。

你需要什么尺度的粗糙结构，喷砂的方法只能得到微米级结构，不规整。硅片腐蚀我没试过。铝箔用盐酸能腐蚀出微米的凹坑。如果想要纳米级的。可是试试阳极氧化铝。

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6楼2012-02-05 21:53:14

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楼: Originally posted by suchanghong at 2012-02-05 21:53:14:
你需要什么尺度的粗糙结构，喷砂的方法只能得到微米级结构，不规整。硅片腐蚀我没试过。铝箔用盐酸能腐蚀出微米的凹坑。如果想要纳米级的。可是试试阳极氧化铝。

我需要利用薄膜面的粗糙度影响其光学性能，我看别人做的微米级是刚好合适的。
您说的阳极氧化铝是AAO吗？

7楼2012-02-06 15:36:56

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7楼: Originally posted by 量子学徒 at 2012-02-06 15:36:56:
我需要利用薄膜面的粗糙度影响其光学性能，我看别人做的微米级是刚好合适的。
您说的阳极氧化铝是AAO吗？

你用铝箔折成槽形，将买来的盐酸1:1稀释，滴加到铝箔槽里面，等到不再冒气泡。再用超声波震荡清洗。基本上可以得到2微米至10微米迷宫结构。

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8楼2012-02-06 17:04:36

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楼: Originally posted by suchanghong at 2012-02-06 17:04:36:
你用铝箔折成槽形，将买来的盐酸1:1稀释，滴加到铝箔槽里面，等到不再冒气泡。再用超声波震荡清洗。基本上可以得到2微米至10微米迷宫结构。

这样做粗糙真的挺方便的，就是不知道PDMS会不会与铝箔粘合，而且这样子做的粗糙度怎么控制

9楼2012-02-08 22:21:18

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9楼: Originally posted by 量子学徒 at 2012-02-08 22:21:18:
这样做粗糙真的挺方便的，就是不知道PDMS会不会与铝箔粘合，而且这样子做的粗糙度怎么控制

PDMS固化后，把铝箔腐蚀掉就行了。