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微纳加工中常见材料的腐蚀/刻蚀速率
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| 两篇paper讲微纳加工/微纳器件领域（或者说MEMS）中常见材料/工艺的腐蚀速率，包括光刻胶，金属，硅材料等。就当个手册用吧。要是和其他资源重复了，恳请版主删除。 |
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2012-01-31 01:11:36, 1.71 M
2012-01-31 01:11:47, 1.03 M
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64楼2012-05-21 09:33:23
9楼2012-01-31 22:21:01
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gxw02182楼
2012-01-31 09:32
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gxw02183楼
2012-01-31 09:32
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激情无限4楼
2012-01-31 10:42
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qduwlx5楼
2012-01-31 16:20
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qduwlx6楼
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莱古拉斯10楼
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ziqidonglai11楼
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vaughn13楼
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yanchengping14楼
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