| 查看: 6826 | 回复: 124 | ||||||||
| 【奖励】 本帖被评价108次，作者myIDname增加金币 83.8 个 | ||||||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||||||
[资源]
微纳加工中常见材料的腐蚀/刻蚀速率
|
||||||||
| 两篇paper讲微纳加工/微纳器件领域（或者说MEMS）中常见材料/工艺的腐蚀速率，包括光刻胶，金属，硅材料等。就当个手册用吧。要是和其他资源重复了，恳请版主删除。 |
回复此楼» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : ETCH RATE 1--JMEMS.pdf
- 附件 2 : ETCH RATE 2--JMEMS.pdf
2012-01-31 01:11:36, 1.71 M
2012-01-31 01:11:47, 1.03 M
» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 英文文献或者教材 | 矿物加工 | Graphene & MTMs & PCs & Plasmonics | 硅片、玻璃片清洗，加工 |
| M-zone | 实验们 |
» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有63人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 高温高压反应釜的材质咨询及不同材料腐蚀速率的数据查询
已经有6人回复
- 全民动员，有奖征集——微纳版“微淘帖”活动
已经有14人回复
- DPN（Dip Pen Nanolithography）浸蘸笔纳米加工刻蚀技术
已经有61人回复
- 高速超精密加工与微纳加工和MEMS是不是近似等同的呀？
已经有10人回复
- 寻找掩膜材料，提高深宽比
已经有8人回复
- 【讨论】大家都是通过什么方法制备微纳结构的？
已经有22人回复
- 【讨论】0.5～2个微米微纳加工，你用什么加工方法？
已经有29人回复
22楼2012-02-04 10:20:47
9楼2012-01-31 22:21:01
简单回复
gxw02182楼
2012-01-31 09:32
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
gxw02183楼
2012-01-31 09:32
回复
顶一下，感谢分享！
激情无限4楼
2012-01-31 10:42
回复
三星好评 顶一下，感谢分享！
qduwlx5楼
2012-01-31 16:20
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
qduwlx6楼
2012-01-31 16:21
回复
顶一下，感谢分享！
2012-01-31 20:01
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
2012-01-31 20:01
回复
顶一下，感谢分享！
莱古拉斯10楼
2012-02-01 00:11
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
ziqidonglai11楼
2012-02-01 10:02
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
2012-02-01 10:18
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
vaughn13楼
2012-02-01 11:34
回复
三星好评 顶一下，感谢分享！
yanchengping14楼
2012-02-01 13:23
回复
三星好评 顶一下，感谢分享！
