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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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fanglilm

铜虫 (小有名气)

[求助] 氧化硅球的刻蚀

我现在做的是二氧化硅的核壳结构,想把二氧化硅刻蚀成多孔的结构,文献上大都用用浓的氢氧化钠刻蚀,我想用氢氟酸,但是文献上用氢氟酸大都是把氧化硅全都刻蚀掉了。请问用低浓度的氢氟酸刻蚀能得到多孔的二氧化硅么?
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Varyag

铜虫 (初入文坛)

我也现在也想知道氢氟酸刻蚀二氧化硅的具体操作流程,我总结的文献上说用10%氢氟酸比较好,但是反应时间貌似没有人提到过,这个是我比较纠结的
2楼2016-11-22 08:29:30
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蓝猫2009

新虫 (著名写手)

湿法腐蚀的可控性不行,虽然操作简单但是效果不好把握,采用干法刻蚀应该比较好吧
3楼2018-06-04 11:03:44
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