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wm881204

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射 真空计

本人用磁控溅射的方法镀膜进行试验,发现貌似真空计有问题,主要是感觉显示的真空数值不正确,而且电离规管貌似有问题,示数居然比热偶规管要大,请问这是什么问题,谢谢各位!!
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奋斗
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bill_shark

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
热偶规管测量气压的量程应该比电离规高吧,热偶规管大概是100~0.1Pa左右,电离规在10~1*10^-5Pa,主要看你的规格是哪个规格的,量程范围会有点变化。
一般超过量程或接近量程极限度数就不准了。你可以去查一下你的规管量程范围,一般会有不同量程的误差范围。
电离规管坏了就应该是灯丝断了,也就是断路了,应该是没示数或显示某一个值不动(我用的是显示00E-4)
3楼2012-01-01 22:36:09
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68377605

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果真空计没啥问题的话,那就是电离规管坏了呗,估计是做抽真空在低真空的时候你就把电离规管打开了,里面的灯丝可能氧化或者烧坏了
2楼2012-01-01 21:58:46
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