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jiangliangba

铁虫 (初入文坛)

[求助] 请问SiC陶瓷做SEM前需要做腐蚀吗,如果要,用什么腐蚀

RT~~只有5个金币,谢谢了~~~
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loverain0626

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
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zhangquan8385(金币+3): 鼓励,新年快乐 2012-01-24 21:37:19
首先要明确的是看SEM为什么要腐蚀:只有看陶瓷的抛光表面SEM才需要腐蚀,其他自由表面和断面都不需要腐蚀。其次,对于SiC陶瓷来说,最好的腐蚀方法是等离子刻蚀(plasma etch),如果烧结的SiC是液相烧结的话也可以采用熔融碱腐蚀,但腐蚀制度就要自己去摸索了
3楼2012-01-20 10:15:33
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caohongying

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
Missile521(金币+1): 鼓励交流 2011-12-16 12:25:40
我做的是不SiC陶瓷,做其他体系的陶瓷时需要处理后做SEM,如果你做的SEM有液相的话就要进行腐蚀,我主要是热腐蚀,温度比烧结温度低50-100度,你可以试一下,希望有帮助!
2楼2011-12-16 10:53:37
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lzygy

专家顾问 (职业作家)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
zhangquan8385(金币+1): 鼓励 2012-01-24 21:37:40
zhangquan8385(专家考核): 2012-01-24 21:37:44
主要看你想为想,如果 想的话请用正磷酸!
4楼2012-01-21 10:57:08
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shiliu600

禁虫 (初入文坛)


感谢参与,应助指数 +1
zhangquan8385(金币+1): 鼓励 2012-01-24 21:38:07
本帖内容被屏蔽

5楼2012-01-24 17:07:42
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