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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 询问大家做lift-off都用什么胶？
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xixiqs

新虫 (初入文坛)

[交流] 询问大家做lift-off都用什么胶？ 已有13人参与

一直在用正胶做，效果不是特别好。。。
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人心是唯一的国界。。。
1楼 2011-12-12 10:51:35
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翅断梦来了

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by damuchongzi at 2011-12-13 13:48:05
剥离一般是用负胶，主要考虑显影后的形貌。当然一般负胶需要相对应的特定显影液，成本比较高，处理比较复杂。也可以用反转胶如AZ5214或正胶反转工艺（需要特殊的红外烘箱和溶剂）达到剥离所需光刻胶形貌。

我也是用的az5214反转胶，然后再上面长了80nm的金属，发现之后用丙酮剥离比较难去掉。如果产生震荡的话，表面的结构都给震掉了，但是胶还是没有去掉。楼主，有没有好的建议分享一下，谢谢
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努力努力努力吧
15楼2016-01-27 15:04:20
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damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
剥离一般是用负胶，主要考虑显影后的形貌。当然一般负胶需要相对应的特定显影液，成本比较高，处理比较复杂。也可以用反转胶如AZ5214或正胶反转工艺（需要特殊的红外烘箱和溶剂）达到剥离所需光刻胶形貌。
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xixiqs
2楼2011-12-13 13:48:05
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xixiqs

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by damuchongzi at 2011-12-13 13:48:05:
剥离一般是用负胶，主要考虑显影后的形貌。当然一般负胶需要相对应的特定显影液，成本比较高，处理比较复杂。也可以用反转胶如AZ5214或正胶反转工艺（需要特殊的红外烘箱和溶剂）达到剥离所需光刻胶形貌。

正胶反转工艺？？？你有这方面资料否？可否给传一下
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人心是唯一的国界。。。
3楼2011-12-13 16:14:08
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zeusshang

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
5214 lift-off专用
用正胶也不无不可，控制好金属层的厚度就行
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微纳加工
4楼2011-12-13 17:56:43
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