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xixiqs

新虫 (初入文坛)

[交流] 询问大家做lift-off都用什么胶?已有13人参与

一直在用正胶做,效果不是特别好。。。
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人心是唯一的国界。。。
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exciting1973

禁虫 (正式写手)

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11楼2012-09-16 18:36:00
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damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
剥离一般是用负胶,主要考虑显影后的形貌。当然一般负胶需要相对应的特定显影液,成本比较高,处理比较复杂。也可以用反转胶如AZ5214或正胶反转工艺(需要特殊的红外烘箱和溶剂)达到剥离所需光刻胶形貌。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2011-12-13 13:48:05
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xixiqs

新虫 (初入文坛)

送鲜花一朵
引用回帖:
: Originally posted by damuchongzi at 2011-12-13 13:48:05:
剥离一般是用负胶,主要考虑显影后的形貌。当然一般负胶需要相对应的特定显影液,成本比较高,处理比较复杂。也可以用反转胶如AZ5214或正胶反转工艺(需要特殊的红外烘箱和溶剂)达到剥离所需光刻胶形貌。

正胶反转工艺???你有这方面资料否?可否给传一下
人心是唯一的国界。。。
3楼2011-12-13 16:14:08
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zeusshang

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
5214 lift-off专用
用正胶也不无不可,控制好金属层的厚度就行
微纳加工
4楼2011-12-13 17:56:43
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