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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助 硬质薄膜的成分检测有哪几种，各有什么利弊
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科学小葱

铁虫 (小有名气)

[求助] 求助 硬质薄膜的成分检测有哪几种，各有什么利弊

求助，审稿人说XPS测定薄膜含量不精确，但是我这个薄膜里面有轻元素，而且很薄，哪位知道能有什么更精确的方法，或是教一下我该怎么反驳审稿人啊！
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1楼 2011-11-14 11:34:04
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小新8158

木虫 (著名写手)

铁杆木虫

【答案】应助回帖

★
zhaohaixing(金币+1): 鼓励交流~ 2011-11-15 17:39:58
科学小葱(金币+5): 2011-11-16 10:42:13
测元素的话可以用SIMS
赞一下(1人) 回复此楼
嘿嘿-木虫啦-BB已经是浮云了O(∩_∩)O
3楼2011-11-15 15:20:53
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kongjzh

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
科学小葱(金币+5): 2011-11-14 14:46:56
nofrunolif(金币+1): 谢谢交流！ 2011-11-14 16:56:16
加个EDX或EPMA的数据
两个数据可以对比一下
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2011-11-14 13:42:38
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科学小葱

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 小新8158 at 2011-11-15 15:20:53:
测元素的话可以用SIMS

这个对样品有什么要求？
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4楼2011-11-16 10:42:33
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