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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » LAO单晶基片 一般如何清洗
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liuhaifeng7758

木虫 (正式写手)

金玉其中

[交流] LAO单晶基片 一般如何清洗 已有7人参与

请大家介绍一下，生长外延膜之前，LAO单晶基片 一般如何清洗？
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1楼 2011-10-16 20:27:34
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liuhaifeng7758

木虫 (正式写手)

金玉其中
引用回帖:
7楼: Originally posted by clchen at 2011-12-21 14:32:46:
是哪个LAO啊，如果是LiAlO2,则不能用水洗，因其会与水反应，特别是表面粗糙度很小的基板

是铝酸镧基片
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8楼2011-12-21 14:40:31
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liuhaifeng7758

木虫 (正式写手)

金玉其中
引用回帖:
2楼: Originally posted by earthnut at 2011-10-17 13:09:01:
显影液 定影液

楼上说的什么啊？不明白
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3楼2011-10-18 17:35:02
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guody

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
购买的单晶基板一般都比较干净，用乙醇或者丙酮超声清洗，再用去离子水清洗，应该足够了，千万不要裸手接触基板，否则非常难清洗干净。
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求木之长者，必固其根本；欲流之远者，必浚其泉源；思国之安者，必积其德义。
4楼2011-10-18 22:58:13
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maojiecheng

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
楼上说的非常准确，千万不要用手接触基板，还有不要用一般的布或者纸类擦拭，否则越擦越脏，这个擦起来很麻烦，可以尝试用丝绸布，用酒精（最好用汽油）作为清洗液，按照一个方向擦拭
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2011-10-26 16:56:07
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