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茅洲

金虫 (小有名气)

[求助] 纳米压印模板抗粘连处理

我采用紫外纳米压印,采用石英模板,在转移图形时,粘连的厉害,应该怎么处理,有没有一些简单的工艺,采用什么测试表征处理的好坏?
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享受风的速度...
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yangguang53

金虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
我们普通接近式曝光也会出现粘结现象,纳米压印现在比较新颖,请问你是哪个大学?
6楼2012-02-10 21:18:47
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cuilin0512

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


lchpy(金币+1): thanks for your information 2011-11-17 13:28:21
自组装单体抗粘层
开开心心每一天!
2楼2011-10-20 21:40:06
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tiencore

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


lchpy(金币+1): thanks for your information 2011-11-17 13:28:28
引用回帖:
1楼: Originally posted by 茅洲 at 2011-09-14 17:59:17:
我采用紫外纳米压印,采用石英模板,在转移图形时,粘连的厉害,应该怎么处理,有没有一些简单的工艺,采用什么测试表征处理的好坏?

SEM就可以表征,看转移图案是否整齐无缺陷。
虫震江湖!
3楼2011-11-17 13:19:59
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xiangmengli

金虫 (正式写手)

微纳米小木虫

【答案】应助回帖


金光闪闪2010(金币+1): 2011-11-21 21:14:24
氧气等离子体处理半分钟,用接触角测量仪测量水在样品表面的接触角,应该会比原来的小。
梅花香自苦寒来
4楼2011-11-21 19:24:27
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