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coldcity

木虫 (正式写手)


[交流] 多晶排列的规则度如何定量表示

我用SEM测试多晶硅,得到的SEM图片中,我想定量描述晶粒是否排列规则,请问应该如何去定量?
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coldcity

木虫 (正式写手)


引用回帖:
7楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2011-08-30 19:22:47:
其实你想想非晶-微晶-多晶-单晶的演变过程,就是一个从无序到有序的过程啊。这个过程伴随着晶体的不断长大、融合,晶界越来越少,载流子的迁移变得越来越容易。以电阻率来表征,非晶、微晶对应着由于晶界处的高应 ...

因为目前,我所得到的多晶硅,在面内不同的地方,晶粒平均尺寸还有点差异,所以,除了晶粒尺寸的差异,我还想看看排列的差异。打个比方,同样是正方形(仅仅比方),规则的排列,中间的晶界也规则,不规则排列,中间可能有杂乱的晶界,所以,对这种无序度的定量,是我想达到的一个目标。至于对性能的影响,在面内不同的无序度,我也可以看看到底有何差异。如您所说,可能其影响已经不是主要因素了,但是我也希望能有数据说明。因为现在看来,我们做成器件,还是有不均的问题,当然也涉及到其他工序的影响。但是鉴于现在我这边实验条件所限,还无法直接从薄膜上去找出电学性能差异,所以只有先用这个方法看看。
8楼2011-08-30 22:26:14
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)


★ ★
coldcity(金币+1):谢谢参与
xjajx(金币+1): 鼓励有价值回复 2011-08-27 23:14:47
引用回帖:
1楼: Originally posted by coldcity at 2011-08-27 00:09:28:
我用SEM测试多晶硅,得到的SEM图片中,我想定量描述晶粒是否排列规则,请问应该如何去定量?

晶粒排列?什么意思啊?。。。一般用SEM表征多晶硅的话,无非就是看晶粒大小、晶粒间界,或者是看太阳电池经酸、碱制绒后的减反射层的大面积均匀性等等。如果利用SEM的附件,如EDS,一般是看特定微区的成分。如果是EBIC之类的,是通过衬度的不同来看金属的污染。你说的晶粒的排列。。没听过啊。只听过原子排列啊。。那是用TEM看高分辨像的,可以看到原子排列和晶面间距。。你应该说清楚一点,你在做什么东西。。需要用SEM表征得到什么信息。
2楼2011-08-27 12:34:17
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coldcity

木虫 (正式写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by SCU_magiclee at 2011-08-27 12:34:17:
晶粒排列?什么意思啊?。。。一般用SEM表征多晶硅的话,无非就是看晶粒大小、晶粒间界,或者是看太阳电池经酸、碱制绒后的减反射层的大面积均匀性等等。如果利用SEM的附件,如EDS,一般是看特定微区的成分。如果 ...

谢谢你的回答
晶粒大小,晶粒晶界这些我都有考虑,但是我想定量考虑晶粒排列的规整度,假设晶粒大小差不多,如果周期性排列的话,我认为规整度好,如果横七竖八的排列的话,认为规整度差,但是如何去定量描述呢?我希望能有一个标准
PS:我是做多晶硅薄膜的,用SEM查看晶粒的形貌

[ Last edited by coldcity on 2011-8-27 at 14:12 ]
3楼2011-08-27 14:11:48
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by coldcity at 2011-08-27 14:11:48:
谢谢你的回答
晶粒大小,晶粒晶界这些我都有考虑,但是我想定量考虑晶粒排列的规整度,假设晶粒大小差不多,如果周期性排列的话,我认为规整度好,如果横七竖八的排列的话,认为规整度差,但是如何去定量描 ...

那实际上是不可能有周期性排列的情况啊,除非单晶。。关键是你这种描述有什么用?周期性排列的多晶晶粒对性能有什么影响吗?
4楼2011-08-27 20:45:02
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