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lj5882006

金虫 (小有名气)

[求助] 求助大师:薄膜接两个上电极测量,怎么计算介电常数等

由于sol-gel法制备了BST薄膜的底电极腐蚀不出来,采用接连两个上电极测出了介频曲线,但是怎么计算真实值呢?谢谢各位大师的不吝赐教!~
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lj5882006

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by asce3333 at 2011-09-20 10:21:56:
这样测试很难计算出真实值,可以选择两个距离较远的顶电极,这样子由于测试距离远远大于薄膜厚度,所以整个结构可以理解成2片膜串联在一起,通过capacitance 计算permittivity时可以把thickness 近似等于2倍的膜厚 ...

谢谢哈,您说的很有道理哈!现在的问题是用溶胶凝胶法甩膜,mask很不好做的。
5楼2011-09-20 16:03:13
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guody

铁杆木虫 (正式写手)

貌似不是两个上点电极吧
应该是类似叉指电极之类的结构吧
求木之长者,必固其根本;欲流之远者,必浚其泉源;思国之安者,必积其德义。
2楼2011-07-20 19:41:47
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lj5882006

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by guody at 2011-07-20 19:41:47:
貌似不是两个上点电极吧
应该是类似叉指电极之类的结构吧

如图,本因该接上面金电极和下面Pt电极的,现在接的是上面两个金电极。
那个叉指电极又怎么计算电容呢?
                                                                   谢谢您哈!

3楼2011-07-20 21:15:09
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asce3333

新虫 (初入文坛)

这样测试很难计算出真实值,可以选择两个距离较远的顶电极,这样子由于测试距离远远大于薄膜厚度,所以整个结构可以理解成2片膜串联在一起,通过capacitance 计算permittivity时可以把thickness 近似等于2倍的膜厚来计算,不过这样计算出来的值也只是估值,建议还是在镀膜前就做上mask,有底电极的测量才更准确
4楼2011-09-20 10:21:56
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