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是否可以在基底上用磁控溅射Cu、Zn、Al然后加热得到晶化的合金结构?
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gl_zju
金虫
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[交流]
是否可以在基底上用磁控溅射Cu、Zn、Al然后加热得到晶化的合金结构?
以前没做过合金这方面的工作,想弱弱的问一下:是否可以在基底上用磁控溅射Cu、Zn、Al三种金属,然后通过加热得到晶化的合金结构?可以的话,需要加热到多少度?温度如果足够高、加热时间也足够长,得到的晶体结构可以很均匀嘛?
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1楼
2011-07-18 15:09:04
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xiao83
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虫号: 1060220
★
gl_zju(金币+1): 谢谢参与
Cu、Zn和Al三种金属依靠磁控溅射能否的到结晶化良好的薄膜。是晶体还是非晶体。取决于很多的因素。一、这三元合金能否成相;二、基底材料的选择要使用合适的晶格常数的材料;三、加热温度不是越高越好,也不是越低越好;四、热处理的时间也是关键的一步;五、溅射的功率会影响生成的时间,生长时间的长与短也同膜的质量相关。望你能够成功制备合金薄膜!!
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7楼
2012-04-26 13:52:02
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朱丝玉壶
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★
gl_zju(金币
+1
):谢谢参与
不是很清楚,帮楼主顶下!
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2楼
2011-07-18 15:32:55
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gl_zju
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求高人指点呀
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3楼
2011-07-19 14:43:01
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Tavano
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★
gl_zju(金币
+1
):谢谢参与
gl_zju(金币+4): 2011-07-19 16:53:24
如果每一层不太厚并且温度够高时间够长肯定可以得到均匀的合金
为什么不同时溅射这三种金属或者直接溅射合金呢?这样得到的可能是非晶,稍微热处理一下就得到晶态合金了,均匀性应该更有保证。
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4楼
2011-07-19 15:11:16
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