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原子力显微镜探针
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原子力显微镜AFM探针: 探针的工作模式：主要分为 扫描(接触)模式和轻敲模式 探针的结构：悬臂梁+针尖 制作工艺：半导体工艺制作 常见的探针类型： （1）、导电探针（电学）：金刚石镀层针尖，性能比较稳定 （2）、压痕探针：金刚石探针针尖（分为套装和非套装的） （3）、氮化硅探针：接触式 （分为普通的和锐化的） （4）、磁性探针：应用于MFM，通过在普通tapping和contact模式的探针上镀Co、Fe等铁磁性层制备 （5）、电化学探针（STM）: 电学接触式和电学轻敲式 （6）、FIB大长径比探针：测半导体结构，专为测量深的沟槽（深孔）以及近似铅垂的侧面而设计生产的。 |
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