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性别: GG
专业: 等离子体物理
[交流]
一篇关于原子层沉积应用的文章
Ultra- Thin Conformal Pore-Sealing of Low-k Materials by Plasma-Assisted ALD
有需要的请下载
http://ishare.iask.sina.com.cn/f/15486486.html
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