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磁控溅射出问题了大虾们帮帮忙 已有5人参与
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刚下实验室磁控溅射就出问题了。 主要的问题就是：辉光之后，无论怎么调匹配器的正溅和反溅都没有自偏压；而且反溅功率和正溅功率同步变化，正常情况应该是在溅射的时候把反溅功率降下去吧。 不知道为什么反溅功率降下去的时候正溅功率也没了。 还有一种现象就是：在辉光之后逐渐调低反溅功率的时候会出现瞬间的下降并伴随着辉光的消失，然后逐渐调高反溅功率，反溅功率又会突然上升辉光出现。这个过程中一直没有自偏压。 测阴阳极电阻为4兆欧，是不是有点小啊？ 出问题好长时间了请各位大虾帮帮忙，帮忙琢磨下到底哪里出了问题。 [ Last edited by teddy1019 on 2011-4-19 at 08:30 ] |
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csuchenli927
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