24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

teddy1019

铁虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 99.3
散金: 25
帖子: 40
在线: 21.8小时
虫号: 1092748
注册: 2010-09-08
专业: 光学

[交流] 磁控溅射出问题了大虾们帮帮忙已有5人参与

刚下实验室磁控溅射就出问题了。
主要的问题就是：辉光之后，无论怎么调匹配器的正溅和反溅都没有自偏压；而且反溅功率和正溅功率同步变化，正常情况应该是在溅射的时候把反溅功率降下去吧。
不知道为什么反溅功率降下去的时候正溅功率也没了。
还有一种现象就是：在辉光之后逐渐调低反溅功率的时候会出现瞬间的下降并伴随着辉光的消失，然后逐渐调高反溅功率，反溅功率又会突然上升辉光出现。这个过程中一直没有自偏压。
测阴阳极电阻为4兆欧，是不是有点小啊？
出问题好长时间了请各位大虾帮帮忙，帮忙琢磨下到底哪里出了问题。

[ Last edited by teddy1019 on 2011-4-19 at 08:30 ]

回复此楼

» 猜你喜欢

请问哪里可以有青B申请的本子可以借鉴一下。已经有4人回复
真诚求助：手里的省社科项目结项要求主持人一篇中文核心，有什么渠道能发核心吗已经有6人回复
孩子确诊有中度注意力缺陷已经有14人回复
三甲基碘化亚砜的氧化反应已经有4人回复
请问下大家为什么这个铃木偶联几乎不反应呢已经有5人回复
请问有评职称，把科研教学业绩算分排序的高校吗已经有5人回复
2025冷门绝学什么时候出结果已经有3人回复
天津工业大学郑柳春团队欢迎化学化工、高分子化学或有机合成方向的博士生和硕士生加入已经有4人回复
康复大学泰山学者周祺惠团队招收博士研究生已经有6人回复
AI论文写作工具：是科研加速器还是学术作弊器？已经有3人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

心路泊客

1楼2011-04-18 09:05:04

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

huangjiangta

银虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 132.3
散金: 24
红花: 3
帖子: 248
在线: 68.1小时
虫号: 916260
注册: 2009-11-29
专业: 金属材料表面科学与工程

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖

引用回帖:

Originally posted by teddy1019 at 2011-04-18 09:05:04:
刚下实验室磁控溅射就出问题了。
主要的问题就是：辉光之后，无论怎么调匹配器的正溅和反溅都没有自偏压；而且反溅功率和正溅功率同步变化，正常情况应该是在溅射的时候把反溅功率降下去吧。
不知道为什 ...

短路或者短路我遇到过