| 查看: 365 | 回复: 2 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
xmcxbjh金虫 (小有名气)
|
[交流]
【求助】LPCVD制备多晶硅薄膜及表征中的问题！ 已有2人参与
|
||
|
1.用LPCVD法制备多晶硅薄膜时，我用20PA；通了硅烷，一会后压强突然发生改变，我就把压强调回来；一会后压强又突然改变，我又把压强调回来；我的总的镀膜时间设定为0.5小时，但在这种情况下，20PA时镀膜的时间肯定不准确！ 有谁也出现过这种情况的啊？请高手指点！！ 2.在测方块电阻时，我用的直线型四探针，可是每次探针只要和样品一接触，电流就从0变成正数；如果忽略这个问题，输出电压经常会是负的，而且和电流大小没有关系！ 请高手指点啊！ 3.多晶硅和单晶硅的电阻率谁大谁小啊？ 4.大家测方块电阻都是怎么测啊？能简单说下步骤么？ 上述问题请高手作答，我会自己手工发放金币！ 泣谢！ |
回复此楼» 猜你喜欢
台州学院有序多孔材料团队最后冲刺，同学们别错过哦，请速联系！
已经有0人回复
-
江西科技师范大学物理化学课题组接收调剂生，名额还有，速来
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有152人回复
-
求碳酸钠和碳酸氢钠的晶胞结构图或晶体结构图
已经有0人回复
-
求碳酸钠和碳酸氢钠的晶胞结构图或晶体结构图
已经有0人回复
-
江西科技师范大学物理化学课题组接收调剂生，12点开启，速来
已经有0人回复
-
【2026 考研调剂】哈尔滨工程大学 招收学硕调剂生（英语一、数学一）
已经有0人回复
-
四川轻化工大学化学与环境工程学院 付昱教授课题组招收调剂硕士研究生
已经有11人回复
-
盐城工学院材料科学与工程学院调剂
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 高浓度表面活性剂的水溶液有哪些表征方法
已经有9人回复
- 复试中遇到的一个问题
已经有28人回复
- 老板开公司，既不让做实验，又没空改论文，又让我发一篇SCI，纯模拟的，能发LP么？？
已经有24人回复
- 轻质骨料强度的表征
已经有4人回复
- 请教高手指点迷津－固体磷核磁表征固体酸酸强度
已经有5人回复
- 用PECVD和LPCVD能生长的氮化硅膜厚范围
已经有4人回复
- 制备真菌孢子悬浮液的问题——是固体好还是液体培养好？
已经有18人回复
- 表征旋涂薄膜的内部孔隙率
已经有9人回复
- 溶胶凝胶制备MgO薄膜，其取向生长受衬底影响吗？
已经有3人回复
- 请问用AAO制备的纳米线做SEM表征后续处理问题
已经有12人回复
- 【求助】关于多晶硅太阳能电池在制备中的Rsh波动问题
已经有3人回复
- 粉体SEM表征，是用铜片还是导电橡胶？
已经有15人回复
| 谢！！！！！！！！！！！！ |
3楼2011-04-08 12:20:01
lijunjie84
版主 (职业作家)
隐者
- CMEI: 2
- 应助: 214 (大学生)
- 贵宾: 1.742
- 金币: 26874.5
- 散金: 1041
- 红花: 50
- 沙发: 25
- 帖子: 3960
- 在线: 5507.9小时
- 虫号: 723048
- 注册: 2009-03-15
- 性别: GG
- 专业: 无机合成和制备化学
- 管辖: 晶体
2楼2011-04-07 23:54:56
