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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 【求助】关于射频磁控溅射镀膜问题
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云无心

铁虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】关于射频磁控溅射镀膜问题 已有5人参与

请问下，做射频磁控溅射镀膜时，靶材是YIG，做的过程中，起辉但是过会后辉光会消失，这个是什么原因？求指点
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1楼 2011-04-07 16:41:52
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380677864

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
溅射室压强稳定吗？
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3楼2011-04-18 19:51:17
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huangjiangta

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
你是不是深大师兄啊  呵呵
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2楼2011-04-18 18:35:29
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great_wj

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
是不是你溅射时的压强太小了？建议增大压强，然后看看辉光是否稳定。
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4楼2011-04-19 05:36:33
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禾乃草荣

银虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
可能是功率太高了
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5楼2011-09-27 22:21:55
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