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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【求助】20金币请教p-Si与Au的欧姆接触制做
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defey

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】20金币请教p-Si与Au的欧姆接触制做

请教：

想在p-Si上做Au电极的欧姆接触，Si 不是 重掺的，大约10欧姆·厘米，溅射上电极。。。不知道怎么做欧姆接触呀？

非常感谢你的帮助。
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1楼 2011-03-21 16:14:24
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yq01y

金虫 (小有名气)
★
defey(金币+2): 谢谢。估计是不行了，放弃，改用铝电极算了。 2011-03-25 09:00:44
xjajx(金币+1): 鼓励参与 2011-03-26 12:30:03
你这个中掺的，好像不好做啊！想改善接触电阻，你就退火看看呢！理论上这两者不能形成欧姆接触啊！
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6楼2011-03-24 19:28:22
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defey

金虫 (小有名气)
沉了。。。自己顶下。。
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2楼2011-03-22 08:42:08
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残灬飞

金虫 (小有名气)
defey(金币+1): 2011-03-23 09:22:19
xjajx: 鼓励参与 2011-03-26 12:29:54
帮你顶下吧 我没有实践经验，不知道操作步骤啊，理论好像可以拿能带理论解释
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3楼2011-03-22 08:57:35
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