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ramble81

木虫 (小有名气)

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[交流] 【求助】四探针测得的是薄膜的方阻还是电阻率已有7人参与

弱弱的问一下：用四探针测薄膜，得到的是薄膜的方阻还是电阻率啊？

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1楼 2011-03-18 15:52:02

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sarahzyp

金虫 (小有名气)

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引用回帖:

1293451楼: Originally posted by clzkzy at 2011-06-08 20:19:11
楼上全错！！！！！！！！！！！
电阻率=方阻*探针间距
怎么可能是膜厚度！！！！！！
RTS-8型四探针，在当膜厚度<0.4mm时由于难以修正测电阻率的电流（需要知道厚度）只能测量方阻，换算的话应该是乘以探针 ...

不对，要看薄膜的厚度
如果厚度及边缘与探针之间的最近距离大于四倍探针间距时，
电阻率=2Π*(V/I)*探针间距
如果是极薄样品，即样品厚度比探针间距小很多时，
电阻率=(Π/ln2)*(V/I)*膜厚=4.5324*(V/I)*膜厚

[ Last edited by sarahzyp on 2012-12-19 at 10:18 ]