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ramble81

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】四探针测得的是薄膜的方阻还是电阻率 已有7人参与

弱弱的问一下:用四探针测薄膜,得到的是薄膜的方阻还是电阻率啊?
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sarahzyp

金虫 (小有名气)


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引用回帖:
1293451楼: Originally posted by clzkzy at 2011-06-08 20:19:11
楼上全错!!!!!!!!!!!
电阻率=方阻*探针间距
怎么可能是膜厚度!!!!!!
RTS-8型四探针,在当膜厚度<0.4mm时由于难以修正测电阻率的电流(需要知道厚度)只能测量方阻,换算的话应该是乘以探针 ...

不对,要看薄膜的厚度
如果厚度及边缘与探针之间的最近距离大于四倍探针间距时,
电阻率=2Π*(V/I)*探针间距
如果是极薄样品,即样品厚度比探针间距小很多时,
电阻率=(Π/ln2)*(V/I)*膜厚=4.5324*(V/I)*膜厚

[ Last edited by sarahzyp on 2012-12-19 at 10:18 ]
9楼2012-12-19 10:16:56
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cord

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
四太针测得的是电阻,乘以薄膜厚度才得到电阻率。
3楼2011-03-18 23:05:38
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yanzhedeyu

金虫 (正式写手)


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测得的是方阻,因为一旦镀膜材料确定,那么它的电阻率就一定了。
电阻率=方阻*膜厚
楼上正解
4楼2011-03-19 08:42:22
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xmcxbjh

金虫 (小有名气)


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都是牛人................
活到死,学到死!
5楼2011-04-06 19:38:12
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