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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】四探针测得的是薄膜的方阻还是电阻率
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ramble81

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】四探针测得的是薄膜的方阻还是电阻率 已有7人参与

弱弱的问一下：用四探针测薄膜，得到的是薄膜的方阻还是电阻率啊？
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薄膜电阻率测试仪

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1楼 2011-03-18 15:52:02
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changlu999

铜虫 (小有名气)
测的是电阻率
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2楼2011-03-18 15:54:24
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
四太针测得的是电阻，乘以薄膜厚度才得到电阻率。
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3楼2011-03-18 23:05:38
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yanzhedeyu

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
测得的是方阻，因为一旦镀膜材料确定，那么它的电阻率就一定了。
电阻率=方阻*膜厚
楼上正解
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4楼2011-03-19 08:42:22
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xmcxbjh

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
都是牛人................
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活到死，学到死！
5楼2011-04-06 19:38:12
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clzkzy

木虫 (正式写手)

小二黑
★
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引用回帖:
Originally posted by ramble81 at 2011-03-18 15:52:02:
弱弱的问一下：用四探针测薄膜，得到的是薄膜的方阻还是电阻率啊？

楼上全错！！！！！！！！！！！
电阻率=方阻*探针间距
怎么可能是膜厚度！！！！！！
RTS-8型四探针，在当膜厚度<0.4mm时由于难以修正测电阻率的电流（需要知道厚度）只能测量方阻，换算的话应该是乘以探针间距（1mm）,不可能是厚度！
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善待别人就是善待自己，胸怀是锻炼出来的。
6楼2011-06-08 20:19:11
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styrenes

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by clzkzy at 2011-06-08 20:19:11:
楼上全错！！！！！！！！！！！
电阻率=方阻*探针间距
怎么可能是膜厚度！！！！！！
RTS-8型四探针，在当膜厚度<0.4mm时由于难以修正测电阻率的电流（需要知道厚度）只能测量方阻，换算的话应该是乘以 ...

请教一下，sx1944 型四探针测试仪怎么算电阻率?

方块电阻测试原理中说的是测试正方形两端的电阻，可是四探针可能是四个等间距的探针（针状），它是怎么做到长度等于宽度的？


L1 为在电流方向的膜层长度，L2 为在垂直于电流方上的膜层长度，d 为膜厚，

R= p L1/(d*L2)
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语言是窗户或墙
7楼2011-06-09 08:48:06
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clzkzy

木虫 (正式写手)

小二黑
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by styrenes at 2011-06-09 08:48:06:
请教一下，sx1944 型四探针测试仪怎么算电阻率?

方块电阻测试原理中说的是测试正方形两端的电阻，可是四探针可能是四个等间距的探针（针状），它是怎么做到长度等于宽度的？


L1 为在电流方向的膜层长度 ...

sx1944型没见过，去看一下四个探针的作用，http://baike.baidu.com/view/1886841.htm
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善待别人就是善待自己，胸怀是锻炼出来的。
8楼2011-06-09 09:21:32
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sarahzyp

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
1293451楼: Originally posted by clzkzy at 2011-06-08 20:19:11
楼上全错！！！！！！！！！！！
电阻率=方阻*探针间距
怎么可能是膜厚度！！！！！！
RTS-8型四探针，在当膜厚度<0.4mm时由于难以修正测电阻率的电流（需要知道厚度）只能测量方阻，换算的话应该是乘以探针 ...

不对，要看薄膜的厚度
如果厚度及边缘与探针之间的最近距离大于四倍探针间距时，
电阻率=2Π*(V/I)*探针间距
如果是极薄样品，即样品厚度比探针间距小很多时，
电阻率=(Π/ln2)*(V/I)*膜厚=4.5324*(V/I)*膜厚

[ Last edited by sarahzyp on 2012-12-19 at 10:18 ]
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9楼2012-12-19 10:16:56
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