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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】请问a-Si:H薄膜中H的原子百分比如何测量？
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ylkitty

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】请问a-Si:H薄膜中H的原子百分比如何测量？

H含量在a-Si:H薄膜中有重要作用，其含量不能太高也不能太小，10 at %貌似是最佳的，怎样测量它的原子百分比呢？
谢谢！
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1楼 2011-03-03 10:02:35
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ylkitty

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by huangjiangta at 2011-03-09 23:15:58:
红外太不准了吧？ 不过可以作为参考

谢谢~
红外光谱是挺不准的，但NMR，SBR，SIMS对调工艺来说又太贵了。
所以我们目前也就是用红外做为参考的。
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21楼2011-03-10 08:47:53
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styrenes

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 10:02:35:
H含量在a-Si:H薄膜中有重要作用，其含量不能太高也不能太小，10 at %貌似是最佳的，怎样测量它的原子百分比呢？
谢谢！

a-Si:H薄膜 是什么东西
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2楼2011-03-03 13:34:29
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ylkitty

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by styrenes at 2011-03-03 13:34:29:
a-Si:H薄膜 是什么东西

就是氢化非晶硅（Hydrogenated Amorphous Silicon）。
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3楼2011-03-03 13:46:55
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styrenes

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 13:46:55:
就是氢化非晶硅（Hydrogenated Amorphous Silicon）。

无机物应该也能做 元素分析。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2011-03-03 13:56:30
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