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ylkitty

金虫 (正式写手)


[交流] 【求助】请问a-Si:H薄膜中H的原子百分比如何测量?

H含量在a-Si:H薄膜中有重要作用,其含量不能太高也不能太小,10 at %貌似是最佳的,怎样测量它的原子百分比呢?
谢谢!
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ylkitty

金虫 (正式写手)


目前,我打算测下红外透射谱。
如果能够测得630cm-1和2000cm-1两处有较深的谷值,而800-900cm-1处的谷值被抑制,我们就认为这样的非晶硅薄膜中SiH占主要成分,而SiH2和SiH3不多。这样应该可以认为是长得不错的非晶硅薄膜了。
今天犯了个低级错误:为了降低调工艺的成本,我们直接在玻璃片上长非晶硅,结果测红外透射谱的时候,入射光都被玻璃吸收完了
接下来,我们打算在单晶硅片上长非晶硅薄膜,然后拿去测红外光谱,希望能够得到我们预想的结果。
17楼2011-03-09 18:53:52
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styrenes

铁杆木虫 (著名写手)


★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 10:02:35:
H含量在a-Si:H薄膜中有重要作用,其含量不能太高也不能太小,10 at %貌似是最佳的,怎样测量它的原子百分比呢?
谢谢!

a-Si:H薄膜 是什么东西
2楼2011-03-03 13:34:29
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ylkitty

金虫 (正式写手)


引用回帖:
Originally posted by styrenes at 2011-03-03 13:34:29:
a-Si:H薄膜 是什么东西

就是氢化非晶硅(Hydrogenated Amorphous Silicon)。
3楼2011-03-03 13:46:55
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styrenes

铁杆木虫 (著名写手)


★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 13:46:55:
就是氢化非晶硅(Hydrogenated Amorphous Silicon)。

无机物应该也能做 元素分析。
4楼2011-03-03 13:56:30
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