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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】请问a-Si:H薄膜中H的原子百分比如何测量？
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ylkitty

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】请问a-Si:H薄膜中H的原子百分比如何测量？

H含量在a-Si:H薄膜中有重要作用，其含量不能太高也不能太小，10 at %貌似是最佳的，怎样测量它的原子百分比呢？
谢谢！
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1楼 2011-03-03 10:02:35
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ylkitty

金虫 (正式写手)
目前，我打算测下红外透射谱。
如果能够测得630cm-1和2000cm-1两处有较深的谷值，而800-900cm-1处的谷值被抑制，我们就认为这样的非晶硅薄膜中SiH占主要成分，而SiH2和SiH3不多。这样应该可以认为是长得不错的非晶硅薄膜了。
今天犯了个低级错误：为了降低调工艺的成本，我们直接在玻璃片上长非晶硅，结果测红外透射谱的时候，入射光都被玻璃吸收完了
接下来，我们打算在单晶硅片上长非晶硅薄膜，然后拿去测红外光谱，希望能够得到我们预想的结果。
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17楼2011-03-09 18:53:52
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styrenes

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 10:02:35:
H含量在a-Si:H薄膜中有重要作用，其含量不能太高也不能太小，10 at %貌似是最佳的，怎样测量它的原子百分比呢？
谢谢！

a-Si:H薄膜 是什么东西
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2楼2011-03-03 13:34:29
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ylkitty

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by styrenes at 2011-03-03 13:34:29:
a-Si:H薄膜 是什么东西

就是氢化非晶硅（Hydrogenated Amorphous Silicon）。
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3楼2011-03-03 13:46:55
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styrenes

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 13:46:55:
就是氢化非晶硅（Hydrogenated Amorphous Silicon）。

无机物应该也能做 元素分析。
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4楼2011-03-03 13:56:30
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