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ylkitty

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[交流] 【求助】请问a-Si:H薄膜中H的原子百分比如何测量？

H含量在a-Si:H薄膜中有重要作用，其含量不能太高也不能太小，10 at %貌似是最佳的，怎样测量它的原子百分比呢？
谢谢！

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1楼 2011-03-03 10:02:35

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ylkitty

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GrasaVampiro: cord是专家，我说的仅供参考 2011-03-05 15:50:43

引用回帖:

Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 18:24:00:
从EDX能谱图可以判断Si元素是存在的，但能不能推算出Si的原子百分比？要是能测出Si的含量，剩下的应该就是H的含量了（在这里打算采用pure SiH4进行沉积）。

不能保证CVD腔内的Si-H比例。我的意思是如果能够测量非晶硅薄膜中的Si含量，可以近似推出H的比例。
但这一想法貌似不可以，因为H的含量太小，而且EDX测试Si的含量不一定十分精确，所以很难推算出H含量。
大家说的测量红外光谱是可行的，采用这个方法可以知道SiH，SiH2，SiH3等radicals的含量，从而得到Si-H的比例。