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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】请问a-Si:H薄膜中H的原子百分比如何测量？
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ylkitty

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】请问a-Si:H薄膜中H的原子百分比如何测量？

H含量在a-Si:H薄膜中有重要作用，其含量不能太高也不能太小，10 at %貌似是最佳的，怎样测量它的原子百分比呢？
谢谢！
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1楼 2011-03-03 10:02:35
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ylkitty

金虫 (正式写手)
GrasaVampiro: cord是专家，我说的仅供参考 2011-03-05 15:50:43
引用回帖:
Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 18:24:00:
从EDX能谱图可以判断Si元素是存在的，但能不能推算出Si的原子百分比？要是能测出Si的含量，剩下的应该就是H的含量了（在这里打算采用pure SiH4进行沉积）。

不能保证CVD腔内的Si-H比例。我的意思是如果能够测量非晶硅薄膜中的Si含量，可以近似推出H的比例。
但这一想法貌似不可以，因为H的含量太小，而且EDX测试Si的含量不一定十分精确，所以很难推算出H含量。
大家说的测量红外光谱是可行的，采用这个方法可以知道SiH，SiH2，SiH3等radicals的含量，从而得到Si-H的比例。
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15楼2011-03-04 14:02:38
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styrenes

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 10:02:35:
H含量在a-Si:H薄膜中有重要作用，其含量不能太高也不能太小，10 at %貌似是最佳的，怎样测量它的原子百分比呢？
谢谢！

a-Si:H薄膜 是什么东西
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2011-03-03 13:34:29
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ylkitty

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by styrenes at 2011-03-03 13:34:29:
a-Si:H薄膜 是什么东西

就是氢化非晶硅（Hydrogenated Amorphous Silicon）。
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3楼2011-03-03 13:46:55
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styrenes

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 13:46:55:
就是氢化非晶硅（Hydrogenated Amorphous Silicon）。

无机物应该也能做 元素分析。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2011-03-03 13:56:30
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