应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】请问a-Si:H薄膜中H的原子百分比如何测量？
51/1返回列表
查看: 3306  |  回复: 28
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

ylkitty

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】请问a-Si:H薄膜中H的原子百分比如何测量？

H含量在a-Si:H薄膜中有重要作用，其含量不能太高也不能太小，10 at %貌似是最佳的，怎样测量它的原子百分比呢？
谢谢！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

非晶硅

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2011-03-03 10:02:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ylkitty

金虫 (正式写手)
GrasaVampiro: cord是专家，我说的仅供参考 2011-03-05 15:50:43
引用回帖:
Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 18:24:00:
从EDX能谱图可以判断Si元素是存在的，但能不能推算出Si的原子百分比？要是能测出Si的含量，剩下的应该就是H的含量了（在这里打算采用pure SiH4进行沉积）。

不能保证CVD腔内的Si-H比例。我的意思是如果能够测量非晶硅薄膜中的Si含量，可以近似推出H的比例。
但这一想法貌似不可以，因为H的含量太小，而且EDX测试Si的含量不一定十分精确，所以很难推算出H含量。
大家说的测量红外光谱是可行的，采用这个方法可以知道SiH，SiH2，SiH3等radicals的含量，从而得到Si-H的比例。
赞一下(1人) 回复此楼
15楼2011-03-04 14:02:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 29 个回答

styrenes

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 10:02:35:
H含量在a-Si:H薄膜中有重要作用，其含量不能太高也不能太小，10 at %貌似是最佳的，怎样测量它的原子百分比呢？
谢谢！

a-Si:H薄膜 是什么东西
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2011-03-03 13:34:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ylkitty

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by styrenes at 2011-03-03 13:34:29:
a-Si:H薄膜 是什么东西

就是氢化非晶硅（Hydrogenated Amorphous Silicon）。
赞一下 回复此楼
3楼2011-03-03 13:46:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

styrenes

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by ylkitty at 2011-03-03 13:46:55:
就是氢化非晶硅（Hydrogenated Amorphous Silicon）。

无机物应该也能做 元素分析。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2011-03-03 13:56:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 29 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭