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ylkitty

金虫 (正式写手)

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虫号: 626671

[交流] 【求助】请问a-Si:H薄膜中H的原子百分比如何测量？

H含量在a-Si:H薄膜中有重要作用，其含量不能太高也不能太小，10 at %貌似是最佳的，怎样测量它的原子百分比呢？
谢谢！

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1楼 2011-03-03 10:02:35

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cord

铁杆木虫 (著名写手)

应助: 186 (高中生)
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ylkitty(金币+5): 非常感谢！向您学习！ 2011-03-04 08:26:47
GrasaVampiro(金币+50): 最近回了不少帖子，一次性给你加分 2011-03-05 15:48:21

氢原子含量很多紧密测试设备测试不了，在于氢原子是1价原子而且质量太轻，测试设备达不到紧密测试要求，比如SIMS，XPS等等。
对于非晶硅薄膜中的氢含量测量，通用方法是用红外谱测试。在非晶硅薄膜中氢个硅原子结合有多种方式，通过计算红外谱中的特定峰，可以计算出氢含量的大概数值。
请参考street的非晶硅书，里面有描述计算方式。
用纯硅烷通过PECVD方法制备非晶硅薄膜，硅烷分解形成非晶硅薄膜，其中也是含有氢原子的，含量的高低取决与制备条件。