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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】氢气、氮气等离子体刻蚀硅
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380677864

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】氢气、氮气等离子体刻蚀硅

Sample Text实验要用氢气氮气的混合气体刻蚀单晶硅上的镀的镍膜。参考了氟刻蚀硅的情况（在高温时生成氟化硅），氮在高温时也有氮化硅生成。试问原理上是不是都是离子轰击的等离子体刻蚀
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1楼 2011-03-02 18:38:06
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lxh419

金虫 (正式写手)
380677864(金币+1): 2011-03-08 11:04:25
应该是 离子轰击刻蚀（物理） 和 原子间的反应（化学） 一起进行的。
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2楼2011-03-07 22:05:45
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380677864

木虫 (正式写手)
你能否再具体说说可能发生的化学反应啊？

你看对吗，


[ Last edited by 380677864 on 2011-3-8 at 11:26 ]
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3楼2011-03-08 11:21:50
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lxh419

金虫 (正式写手)
380677864(金币+1): 2011-03-09 16:51:50
化学反应 如果细化的话，一般应写为原子及带电粒子之间的反应。
另外，还有可能生成氢化物，如NiH3。
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4楼2011-03-09 12:08:09
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380677864

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by lxh419 at 2011-03-09 12:08:09:
化学反应 如果细化的话，一般应写为原子及带电粒子之间的反应。
另外，还有可能生成氢化物，如NiH3。

你能否把可能发生的化学反应给我写一下啊？？谢谢
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5楼2011-03-09 16:52:25
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