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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】有谁知道哪有制作掩膜的？
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wjhw0520

银虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】有谁知道哪有制作掩膜的？

本人想用掩膜进行光刻制作模板，要求最小精度能到达1-2um,不知道哪位虫友有做过类似的掩膜，或者能提供公司的联系方式，对此表示感激不尽！
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1楼 2011-03-02 14:08:24
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nancy10214

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
如果是部分小结构图形，可以直接电子束，做1微米的版子很贵，后其光刻1微米也不简单，建议对小的图形换一种方法，投影缩放stepper也可以的。
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20楼2014-12-15 09:12:09
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sam3303

至尊木虫 (著名写手)
★
wjhw0520(金币+1):谢谢参与
wjhw0520(金币+1): 2011-03-05 17:13:04
wandaohzl: 鼓励交流 2011-03-06 11:07:15
我联系过这类公司，但价钱应该在5000元以上吧，比较贵。后来我自己用胶片画的。
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2011-03-04 20:43:10
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420758217

银虫 (小有名气)
★
wjhw0520(金币+1):谢谢参与
wjhw0520(金币+1): 2011-03-05 17:15:09
wandaohzl: 鼓励交流 2011-03-06 11:07:21
估计你这个得用电子束制版才行，的确很贵的，而且周期很长。
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3楼2011-03-05 11:39:53
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wjhw0520

银虫 (初入文坛)
wandaohzl: 鼓励交流 2011-03-06 11:07:28
引用回帖:
Originally posted by sam3303 at 2011-03-04 20:43:10:
我联系过这类公司，但价钱应该在5000元以上吧，比较贵。后来我自己用胶片画的。

只做掩膜有这么贵啊？用胶片画那么小的刻度，精度能达到么，你是做的什么，可否赐教啊，谢谢！
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4楼2011-03-05 17:12:46
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