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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】有谁知道哪有制作掩膜的？
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wjhw0520

银虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】有谁知道哪有制作掩膜的？

本人想用掩膜进行光刻制作模板，要求最小精度能到达1-2um,不知道哪位虫友有做过类似的掩膜，或者能提供公司的联系方式，对此表示感激不尽！
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1楼 2011-03-02 14:08:24
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sam3303

至尊木虫 (著名写手)
★
wjhw0520(金币+1):谢谢参与
wjhw0520(金币+1): 2011-03-05 17:13:04
wandaohzl: 鼓励交流 2011-03-06 11:07:15
我联系过这类公司，但价钱应该在5000元以上吧，比较贵。后来我自己用胶片画的。
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2楼2011-03-04 20:43:10
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420758217

银虫 (小有名气)
★
wjhw0520(金币+1):谢谢参与
wjhw0520(金币+1): 2011-03-05 17:15:09
wandaohzl: 鼓励交流 2011-03-06 11:07:21
估计你这个得用电子束制版才行，的确很贵的，而且周期很长。
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3楼2011-03-05 11:39:53
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wjhw0520

银虫 (初入文坛)
wandaohzl: 鼓励交流 2011-03-06 11:07:28
引用回帖:
Originally posted by sam3303 at 2011-03-04 20:43:10:
我联系过这类公司，但价钱应该在5000元以上吧，比较贵。后来我自己用胶片画的。

只做掩膜有这么贵啊？用胶片画那么小的刻度，精度能达到么，你是做的什么，可否赐教啊，谢谢！
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4楼2011-03-05 17:12:46
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)
★
wjhw0520(金币+1):谢谢参与
wandaohzl: 鼓励交流 2011-03-06 11:07:34
wjhw0520(金币+1): 2011-03-07 14:29:45
内容已删除
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5楼2011-03-05 20:19:38
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420758217

银虫 (小有名气)
★
nuaajsh(金币+1): 谢谢提供信息 2011-03-05 23:11:02
wjhw0520(金币+3): 哦，那我联系下，非常感谢哈！ 2011-03-07 14:31:13
我这里有个无锡华润掩膜的电话，你可以问一下，我们是在哪里做的0510-85804040
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6楼2011-03-05 22:20:45
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sam3303

至尊木虫 (著名写手)
wjhw0520(金币+2): 哦 谢谢啊 我的最小的尺寸在1~2μm吧 2011-03-07 14:33:24
引用回帖:
Originally posted by wjhw0520 at 2011-03-05 17:12:46:
只做掩膜有这么贵啊？用胶片画那么小的刻度，精度能达到么，你是做的什么，可否赐教啊，谢谢！

当图案尺寸很小时，一般的材料做不了，我忘记了用什么材料，用胶片的话，2-3μm，幸运的话可以得到，但难度很大。10μm的图案还是没有问题的。
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7楼2011-03-06 14:44:54
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sam3303

至尊木虫 (著名写手)
wjhw0520(金币+1): 我联系下问问吧！谢谢哈！ 2011-03-07 14:35:34
光刻掩模版制造商！湖南普照信息材料有限公司！和我联系：邮箱：denghui1006@163.com
但我从未联系过。
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8楼2011-03-06 17:18:35
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sam3303

至尊木虫 (著名写手)
wjhw0520(金币+1): O(∩_∩)O谢谢哈！ 2011-03-07 14:35:17
光刻掩模版,玻璃和薄膜两种都有,QQ:479108971

不过我也没联系过。
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9楼2011-03-06 17:21:08
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kpliu

新虫 (初入文坛)
★
wjhw0520(金币+1):谢谢参与
我实验室可以制作最小分辨率为0.6微米的掩模板，若面积100mm2以下只需要1000元就能做出来，面积大的要贵一些。15108299816赵工  邮箱：zyy44138172@126.com
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10楼2011-03-29 23:11:25
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)
★
wjhw0520(金币+1):谢谢参与
本帖内容被屏蔽
11楼2011-04-01 13:55:53
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tries

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by kpliu at 2011-03-29 23:11:25:
我实验室可以制作最小分辨率为0.6微米的掩模板，若面积100mm2以下只需要1000元就能做出来，面积大的要贵一些。15108299816赵工  邮箱：zyy44138172@126.com

可否告知是哪个单位的？
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12楼2011-05-02 21:55:15
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
13楼2011-10-05 12:09:34
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halcyon1988

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
南京有个清微电子。百度一下他们公司去官方主页了解一下情况。
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14楼2011-10-11 15:01:46
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kebaoyuan

禁言 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
15楼2011-10-11 20:33:41
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jy02266731

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
深证清益 support03@supermask.com 你把画图的文件发过去就是了
长沙韶光，还有南京一个中科院的所，叫什么忘记了，1-2微米的板比较贵，和二楼说的价格差不多
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16楼2011-10-11 21:33:44
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huazan1989

铁杆木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
268871楼: Originally posted by sam3303 at 2011-03-06 14:44:54
当图案尺寸很小时，一般的材料做不了，我忘记了用什么材料，用胶片的话，2-3μm，幸运的话可以得到，但难度很大。10μm的图案还是没有问题的。...

怎么用胶片做啊，我是一个新人，想在表面刻蚀一些点阵结构苦于没有光刻胶掩膜
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17楼2012-10-12 09:04:56
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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by kpliu at 2011-03-29 23:11:25
我实验室可以制作最小分辨率为0.6微米的掩模板，若面积100mm2以下只需要1000元就能做出来，面积大的要贵一些。15108299816赵工  邮箱：zyy44138172@126.com

你好，你们做的是不是镂空的掩膜板，你们的掩膜板是什么材料做的，是否耐热？
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18楼2013-05-15 19:30:58
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磬乡

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我也想做类似的，不过需要套刻，请问楼主的问题解决了吗？最后是找哪个单位做的呀？
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19楼2014-12-03 16:15:57
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nancy10214

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
如果是部分小结构图形，可以直接电子束，做1微米的版子很贵，后其光刻1微米也不简单，建议对小的图形换一种方法，投影缩放stepper也可以的。
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20楼2014-12-15 09:12:09
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白居易

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
推荐你2家，我们做过的
微电子所    http://www.ime.ac.cn/
苏州制版  15371814312
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21楼2015-10-26 15:34:37
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你才是大笨蛋

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
18楼: Originally posted by zvs1988 at 2013-05-15 19:30:58
你好，你们做的是不是镂空的掩膜板，你们的掩膜板是什么材料做的，是否耐热？...

你搞到镂空的掩膜板了吗，就是想不需要光刻，直接镀膜？分辨率1微米左右的
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22楼2015-10-28 20:31:34
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度燕

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们在苏州制版做过，2到3天就可以拿到了
sales@maskfab.com 15371814312
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23楼2016-02-24 15:49:45
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