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wjhw0520

银虫 (初入文坛)


[交流] 【求助】有谁知道哪有制作掩膜的?

本人想用掩膜进行光刻制作模板,要求最小精度能到达1-2um,不知道哪位虫友有做过类似的掩膜,或者能提供公司的联系方式,对此表示感激不尽!
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tries

铁杆木虫 (正式写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by kpliu at 2011-03-29 23:11:25:
我实验室可以制作最小分辨率为0.6微米的掩模板,若面积100mm2以下只需要1000元就能做出来,面积大的要贵一些。15108299816赵工  邮箱:zyy44138172@126.com

可否告知是哪个单位的?
12楼2011-05-02 21:55:15
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sam3303

至尊木虫 (著名写手)



wjhw0520(金币+1):谢谢参与
wjhw0520(金币+1): 2011-03-05 17:13:04
wandaohzl: 鼓励交流 2011-03-06 11:07:15
我联系过这类公司,但价钱应该在5000元以上吧,比较贵。后来我自己用胶片画的。
2楼2011-03-04 20:43:10
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420758217

银虫 (小有名气)



wjhw0520(金币+1):谢谢参与
wjhw0520(金币+1): 2011-03-05 17:15:09
wandaohzl: 鼓励交流 2011-03-06 11:07:21
估计你这个得用电子束制版才行,的确很贵的,而且周期很长。
3楼2011-03-05 11:39:53
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wjhw0520

银虫 (初入文坛)


wandaohzl: 鼓励交流 2011-03-06 11:07:28
引用回帖:
Originally posted by sam3303 at 2011-03-04 20:43:10:
我联系过这类公司,但价钱应该在5000元以上吧,比较贵。后来我自己用胶片画的。

只做掩膜有这么贵啊?用胶片画那么小的刻度,精度能达到么,你是做的什么,可否赐教啊,谢谢!
4楼2011-03-05 17:12:46
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