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wjhw0520

银虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 486.4
帖子: 38
在线: 9.2小时
虫号: 959491

[交流] 【求助】有谁知道哪有制作掩膜的？

本人想用掩膜进行光刻制作模板，要求最小精度能到达1-2um,不知道哪位虫友有做过类似的掩膜，或者能提供公司的联系方式，对此表示感激不尽！

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1楼 2011-03-02 14:08:24

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kpliu

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 226.8
帖子: 23
在线: 37分钟
虫号: 432708

★
wjhw0520(金币+1):谢谢参与

我实验室可以制作最小分辨率为0.6微米的掩模板，若面积100mm2以下只需要1000元就能做出来，面积大的要贵一些。15108299816赵工邮箱：zyy44138172@126.com

赞一下(1人)

10楼2011-03-29 23:11:25

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 23 个回答

sam3303

至尊木虫 (著名写手)

应助: 8 (幼儿园)
金币: 13962.3
帖子: 2775
在线: 561.2小时
虫号: 628974

★
wjhw0520(金币+1):谢谢参与
wjhw0520(金币+1): 2011-03-05 17:13:04
wandaohzl: 鼓励交流 2011-03-06 11:07:15

我联系过这类公司，但价钱应该在5000元以上吧，比较贵。后来我自己用胶片画的。

赞一下(2人)

2楼2011-03-04 20:43:10

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

420758217

银虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1579.4
帖子: 162
在线: 110.1小时
虫号: 1216688

★
wjhw0520(金币+1):谢谢参与
wjhw0520(金币+1): 2011-03-05 17:15:09
wandaohzl: 鼓励交流 2011-03-06 11:07:21

估计你这个得用电子束制版才行，的确很贵的，而且周期很长。

赞一下(2人)

3楼2011-03-05 11:39:53

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

wjhw0520

银虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 486.4
帖子: 38
在线: 9.2小时
虫号: 959491

wandaohzl: 鼓励交流 2011-03-06 11:07:28

引用回帖:

Originally posted by sam3303 at 2011-03-04 20:43:10:
我联系过这类公司，但价钱应该在5000元以上吧，比较贵。后来我自己用胶片画的。

只做掩膜有这么贵啊？用胶片画那么小的刻度，精度能达到么，你是做的什么，可否赐教啊，谢谢！

赞一下(1人)

4楼2011-03-05 17:12:46

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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