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【求助】请教如何测量几个微小层的厚度 已有1人参与
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大家好， 最近在做碳化硅的氧化，通过XPS发现，氧化之后最外面是氧化硅，最下面是碳化硅，但是中间还有一层过度层。 现在我想把这三个层的厚度都测出来，能用什么方法呢？ 通过文献，最外面的氧化硅，已经中间层的厚度都小于5nm，用什么方法测量最简单呢？还请各位指教！非常感谢 现有仪器： SEM，AFM，Elipsometry， TEM，XPS等 |
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2楼2011-04-07 13:52:23