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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 【求助】退火和CVD的区别?(急！急！）
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dyh0321

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】退火和CVD的区别?(急！急！）

以前的认知里，只知道CVD是镀膜的一种方法，最近看了一些文献，发现在管式炉中加热，通入的气体与炉内的材料反应合成新产物的过程也称作CVD
,而有一些文献又称作退火（annealing），这里的气体有的充当反应气体，有的充当保护气体，二者是一样的吗？还是说有反应的是CVD，没反应的就是退火呢？请高手指教一下！
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1楼 2011-02-27 22:30:43
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059070225

木虫 (正式写手)
★
dyh0321(金币+1):谢谢参与
CVD和退火是两个不同的工艺
CVD只是物质经高温气化后在衬底表面沉积出薄膜之类的
退火是将沉积好的薄膜再进行一下高温处理，以提高膜的质量
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11楼2011-03-06 11:52:39
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肥太狼

木虫 (著名写手)
★
dyh0321(金币+1):谢谢参与
CVD称之为化学气相沉积，很明显，是一种在高温下气化--沉积的过程，可以反应，也可以没有反应；而退火一般来说是指将某个样品回炉烧的过程，也可以俗称二次烧。。。呵呵 所以 CVD和退火的区别不在于有没有反应，而在于是否有气化--沉积的过程~~~
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3楼2011-02-28 12:22:11
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qingmingwu

金虫 (正式写手)
★
dyh0321(金币+1):谢谢参与
一种在高温下气化--沉积的过程
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4楼2011-02-28 12:49:56
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dyh0321

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 肥太狼 at 2011-02-28 12:22:11:
CVD称之为化学气相沉积，很明显，是一种在高温下气化--沉积的过程，可以反应，也可以没有反应；而退火一般来说是指将某个样品回炉烧的过程，也可以俗称二次烧。。。呵呵 所以 CVD和退火的区别不在于有没有反应，而 ...

　在氩气保护下,将镁粉(99 % , ≤300μm) 与氧化硼(AR) 以摩尔比3 ∶1 在玛瑙研钵中混合均匀,平铺在氧化铝瓷舟中并加盖,瓷舟两端留出通气槽。事先将5 %摩尔分数(相对氧化硼) 的氯化亚铁溶于少量水,涂覆在瓷舟盖子内侧并烘干。将装有反应物的瓷舟置于管式炉恒温区中央,通入500 mL/ min
氩气冲洗炉管数分钟,然后固定氩气流量50mL/ min ,升温至1100 ℃时,关闭氩气并通入氨气,保持氨气流量为30～50mL/ min 。待达到1500～1600 ℃时,恒温
2h 。恒温结束时同时关闭进气口和排气口,随炉冷却至室温。
以上文献称作CVD。
那这里的气化是不是指通入的气体，气体与原料反应（最终生成BN），就称为沉积？

High-quality boron nitride nanotubes were synthesized by annealing porous precursor in flowing NH3 gas at 1150◦C. The porous precursor B18Ca2(MgO)9 was produced by self-propagation high-temperature synthesis (SHS) method using Mg, B2O3, and CaB6 as the starting materials, which played an important role in synthesis of BN nanotubes in large quantities. 这篇文献中也有气体（气化？），是氨气和前驱物反应生成BN，但是却称为退火，为什么呢？
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5楼2011-02-28 12:59:41
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