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tkhk

木虫 (正式写手)

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[交流] 【求助】请教silvaco中的扩散问题

我现在在用silvaco中的pls模型做扩散模拟，发现在硅上直接扩磷可以，但是在硅上加了二氧化硅开出扩散窗口后再扩散却扩不了，软件直接报错，不知道是什么原因，希望有高手能解答一下，十分感谢，

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1楼 2011-02-22 19:50:56

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sunyuanxin

禁虫 (著名写手)

本帖内容被屏蔽

2楼2011-02-25 16:23:06

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y070297

金虫 (小有名气)

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★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
tkhk(金币+5): 2011-05-06 18:02:25

可以看看Si和SIO2中磷的分凝系数

赞一下(1人)

3楼2011-05-06 14:01:22

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