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【求助】急求FlexPDE电势差分布问题
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用 大面积PECVD平行板电极间电势差分布均匀性数值研究 这篇文献的波动方程和边界条件,文章用的软件是FlexPDE进行该电势差分析,具体怎么编程?即求电极板长为120cm,宽为100cm,顶部电极间距为0.6cm,底部电极间距为2cm,频率在13.56MHz,s=1mm即波长衰减因子为3.16时电势差的分布,求详细编程步骤。 [ Last edited by 295435736 on 2011-1-17 at 16:30 ] |
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